概要
通过真空吸引将玻璃基板固定在加工工作台上的情况下，受玻璃基板自身翘曲的影响，会出现无法稳定吸附的情况。这里对用来稳定地真空吸引翘曲玻璃基板的生产技术进行了解说。
解说
(1) 玻璃基板的翘曲与真空吸附
・将玻璃基板投入化学过程或定位调整的自动化生产线中的情况下，若不采用与玻璃基板自身的翘曲形状或大小相对应的工法，就会产生各种各样的搬运故障或加工故障。
・如定位-9的解说所示，玻璃基板的翘曲形状会大大影响基板的真空吸附的效果。
・玻璃基板的每个生产批次的基板的翘曲情况都有偏差。这是由于玻璃基板的生产过程中表面与背面产生的残留应力之差导致的，可以分类为凹状翘曲、凸状翘曲、复合翘曲（图1）
・必须可以稳定地真空吸附这种多样翘曲状态的玻璃基板。
(2)加工工作台上的真空吸附不良的要因解说
・有的情况下，玻璃基板的翘曲形状和大小会导致无法实现真空吸附。
・玻璃基板有凹状翘曲的情况下，中间部位可以进行真空吸引，但外周区域由于真空吸引力难以发挥作用，所以有时不能吸引（参照定位-9）。
・玻璃基板有复合翘曲的情况下，有的情况下真空吸引时玻璃基板会发生错位。这是因为玻璃基板与加工工作台之间的间隙不均匀，有偏差，所以真空吸引力的作用也不均匀（图2）。
(3)真空吸附时的吸引不良对策
・先让玻璃基板的中间区域的真空吸引生效，延迟时间来真空吸引外周区域，这样即可稳定吸引玻璃基板。
・关于该真空吸引的位置和时间控制，前者通过让真空吸引孔的路径设计的中间区域和外周区域独立即可（图3），吸引时间的控制可以通过真空吸引控制电路的电磁阀的时间控制来实现。
